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LUYOR-3105高强度紫外线灯在杭州中芯晶圆的应用

作者:时间:2019-11-04 08:48:42浏览221 次

信息摘要:

LUOYR-3105高强度紫外线灯内置有5颗大功率紫外线365nm led,在38cm处紫外线强度达到10000uw,能够激发wafer上 particle发出明亮荧光,目前在中国有数百台LUYOR-3105 LED紫外线灯应用于晶圆企业。LUYOR-3105是一款便携式紫外线灯,不仅能够检查制程机台表面particle,可以选配台式支架做为台式紫外线灯使用。

近日,杭州中芯晶圆半导体股份有限公司采购了数台LUYOR-3105高强度紫外线灯,杭州中芯晶圆利用LUOYR-3105高强度紫外线灯检查晶圆产品质量。质量工程师通过LUYOR-3105紫外线灯能够激发晶圆表面落尘发出蓝色荧光,来保证晶圆的产品质量。

LUOYR-3105高强度紫外线灯

LUOYR-3105高强度紫外线灯


LUOYR-3105高强度紫外线灯内置有5颗大功率紫外线365nm led,在38cm处紫外线强度达到10000uw,能够激发wafer上 particle发出明亮荧光,目前在中国有数百台LUYOR-3105 LED紫外线灯应用于晶圆企业。LUYOR-3105是一款便携式紫外线灯,不仅能够检查制程机台表面particle,可以选配台式支架做为台式紫外线灯使用。

美国路阳仪器设备有限公司是一家专业致力于特种光源研发、生产销售的公司,主要产品有紫外光源GFP激发光源、荧光检漏用的紫外线手电筒、实验室用的便携式紫外线灯、台式紫外线灯、紫外交联仪紫外透射台、蓝光透射台、紫外分析仪等产品。为更进一步服务中国市场,2010年,在中国上海成立分公司-上海路阳仪器有限公司。2019年,随着生命科学事业部的快速发展,美国路阳中国公司生命科学事业部独立为子公司-上海路阳生物技术有限公司。

LUOYR-3105高强度紫外线灯检查wafer表面质量

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杭州中芯晶圆半导体股份有限公司是目前国内规模大、技术成熟、拥有自主核心技术的真正可量产半导体大硅片生产工厂。众所周知,国内大尺寸硅片尤其是12英寸半导体大硅片的供应被国外企业所掌控,市场高度垄断。 杭州中芯晶圆大硅片项目的建成投产,将改变国内半导体大硅片完全依赖国外的现状,有效填补国内半导体大硅片供应的行业短板。在未来几个月内,杭州中芯晶圆将完成12英寸生产线的设备安装调试、工艺调试、品质认定等流程,在今年年底生产出高品质的12英寸半导体大硅片,明年初进入量产。12英寸半导体硅片生产线投产后,月产能能达到3万片,并将适时启动20万片产能产线的扩产,将大大缓解我国半导体大硅片供应不足的局面。

LUOYR-3105高强度紫外线灯检查wafer表面质量


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