美国路阳中国公司为客户提供更理想的光源!
021-64195798
153-17565658
热门关键词:B-100AP LUYOR-3415RG
您的位置:首页>>技术应用>>应用案例

高强度紫外线灯应用于半导体企业的微粒检查

作者:紫外线灯事业部时间:2019-10-29 13:09:09浏览341 次

信息摘要:

浙江康鹏半导体有限公司采购了LUYOR-3410系列高强度紫外线灯用于晶圆表面微粒检测。晶棒在切割、清洗以及无尘室的particle等都会对晶圆表面造成污染,而这些particle在LUYOR-3410高强度紫外线灯照射下会发出荧光,检查者会很容易发现污点,会大幅度提高晶圆的良品率。

高强度紫外线灯LUYOR-3410检测原理

近日,浙江康鹏半导体有限公司采购了LUYOR-3410系列高强度紫外线灯用于晶圆表面微粒检测。晶棒在切割、清洗以及无尘室的particle等都会对晶圆表面造成污染,而这些particle在LUYOR-3410高强度紫外线灯照射下会发出荧光,检查者会很容易发现污点,会大幅度提高晶圆的良品率。

高强度紫外线灯LUYOR-3410配有不锈钢可调节支架,即可用于便携式操作,检查机台表面落尘,也可做为台式紫外线灯检查晶圆表面质量。

高强度紫外线灯应用于半导体企业的微粒检

高强度紫外线灯LUYOR-3410在半导体行业的典型客户:

  1. 浙江康鹏半导体有限公司

  2. 中科芯集成电路有限公司

  3. 广州市中芯电子科技有限公司

  4. 台积电(上海)有限公司

晶圆盒洁净度直接影响着晶圆的良品率,和晶圆企业配套的晶圆盒的生产企业相继也有多家采购了LUYOR-3410高强度紫外线灯。

半导体洁净室管理办法如下:

1、内部要保持大于一大气压的环境,以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中。
2、为保持温度与湿度的恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之,鼓风机加压多久,冷气空调也开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主,尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至更低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、所有人事物进出,都必须经过空气吹浴 (air shower) 的程序,将表面粉尘先行去除。
6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源,为此务必严格要求进出使用人员穿戴无尘衣,除了眼睛部位外,均需与外界隔绝接触 (在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。) 当然,化妆是在禁绝之内,铅笔等也禁止使用。
7、除了空气外,水的使用也只能限用去离子水 (DI water, de-ionized water)。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半 (MOS) 晶体管结构之带电载子信道 (carrier channel),影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率 (resistively) 来定义好坏,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡,才能放行使用。由于去离子水是更佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业之使用量极为惊人!
8、洁净室所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮! 以上八点说明是最基本的要求,另还有污水处理、废气排放的环保问题,再需要大笔的建造与维护费用!

高强度紫外线灯LUYOR-3410如何购买?

高强度紫外线灯LUYOR-3410是美国路阳公司生产,上海路阳仪器有限公司负责中国地区销售和售后服务。如果您对高强度紫外线灯的应用有兴趣,可以添加扫描下面的微信二维码添加微信咨询:

1575441038845255.jpg


【高强度紫外线灯应用于半导体企业的微粒检查】链接地址:https://www.luyoruv.com/news/case/342.html
未经公司同意,严禁转载我站文章,经同意转载的,必须注明出处。